8月14日,国务院国资委官网发布消息,由中国化工黎明化工研究设计院承担的国家科技重大专项项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”通过国家重大专项项目组测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。目前,黎明院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,可完全实现对进口产品的替代。 华创证券指出,集成电路是信息社会的根基。高纯度含氟电子气体是极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成,确保电路有效发挥作用。随着极大规模集成电路技术的提升,芯片制程向14纳米甚至7纳米迈进,对电子气体的纯度要求越来越高。 昊华科技(600378)子公司黎明院是国内知名的含氟电子特气供应商,黎明院与韩国大成全体(DIG)合作开展的2000吨/年三氟化氮项目已经全面达产。 南大光电(300346)通过控股山东飞源气体有限公司切入氟系电子特气市场,后者含氟电子气体已向国际领先企业批量供货,并已完成多种关键含氟电子材料的产业化准备。 华特气体是以含氟类气体切入到8寸以上的芯片客户,公司的含氟类气体产品具有较强的竞争力。 雅克科技(002409)通过收购科美特进入含氟电子特气领域,主要产品为六氟化硫和四氟化碳,年产3500吨半导体用电子级三氟化氮气体生产线技改项目正在建设中。